電容薄膜規

?? 壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度.

2. 電容薄膜規特點
?? 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成
?? 在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量
?? 快速的預熱和恢復時間,提高生產率
?? 卓越的長期穩定性,再現性和重復性
?? 由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性
?? 對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定
?? 快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入 準備使用狀態
?? 一鍵按鈕: 調零功能和設點調整
?? 抗腐蝕超純陶瓷傳感器
?? 能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象
?? 暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥
?? 對蒸氣介質不敏感
?? 先進的傳感器屏蔽 (專利)延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命)